資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

ドライプロセス表面処理大全

関東学院大学材料・表面工学研究所／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２０１９．３ -- 566.7

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般資料 5667/K5/3 1110129150 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

種別 図書
タイトルコード 1130121887
タイトル ドライプロセス表面処理大全 
タイトルカナ ドライ　プロセス　ヒョウメン　ショリ　タイゼン
著者 関東学院大学材料・表面工学研究所 ／編  
著者カナ カントウ　ガクイン　ダイガク　ザイリョウ　ヒョウメン　コウガク　ケンキュウジョ
叢書名 技術大全シリーズ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 ２０１９．３
ページ数 285p
大きさ 21cm
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
NDC分類(8版) 566.7
NDC分類(10版) 566.7
ISBN13桁 978-4-526-07968-9 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ¥3000
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。

ページの先頭へ