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マイクロ・ナノマシン技術入門

藤田博之／著 -- 工業調査会 -- ２００３．８ -- 530

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 5300/F1/2 1106538562 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1108478908
タイトル マイクロ・ナノマシン技術入門 
タイトルカナ マイクロ　ナノ　マシン　ギジュツ　ニュウモン
副書名 半導体技術で作る微小機械とその応用
著者 藤田博之 ／著  
著者カナ フジタ　ヒロユキ
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年 ２００３．８
ページ数 ２３２ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(8版) 530
ISBN 4-7693-7117-9 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ２６００円

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