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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９７．１１ -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 5498/N4/1-4 1104994460 一般 貸出禁止 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1107062522
タイトル 半導体製造装置用語辞典 
タイトルカナ ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ヨウゴ　ジテン
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
著者カナ ニホン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　キョウカイ
版表示 第４版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 １９９７．１１
ページ数 ５４７ｐ
大きさ ２２ｃｍ
一般件名 半導体－辞典
NDC分類(8版) 549.8
ISBN 4-526-04090-8 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ￥４６００
内容注記 引用文献一覧表：ｐ４５２

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