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「半導体立国」日本

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９１．１１ -- 549.8

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5498/N4/2	1100337037	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1101266689
タイトル	「半導体立国」日本
タイトルカナ	ハンドウタイ　リッコク　ニホン
副書名	独創的な装置が築きあげた記録
著者	日本半導体製造装置協会／編
著者カナ	ニホン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　キョウカイ
出版地	東京
出版者	日刊工業新聞社
出版年	１９９１．１１
ページ数	４０３ｐ
大きさ	２０ｃｍ
一般注記	監修：垂井康夫
一般件名	半導体
NDC分類(8版)	549.8
ISBN	4-526-03042-2
定価	￥２０００

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