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ここまできたイオン注入技術

布施玄秀／編著 -- 工業調査会 -- １９９１．６ -- 549.7

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5497/F2/	1100219920	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1101260120
タイトル	ここまできたイオン注入技術
タイトルカナ	ココマデ　キタ　イオン　チュウニュウ　ギジュツ
副書名	超ＬＳＩプロセスのリード役
著者	布施玄秀／編著, 平尾孝／編著
著者カナ	フセ　ゲンシュウ
叢書名	Ｋ　ｂｏｏｋｓ　ｓｅｒｉｅｓ７９
出版地	東京
出版者	工業調査会
出版年	１９９１．６
ページ数	１８２ｐ
大きさ	１９ｃｍ
一般件名	集積回路
NDC分類(8版)	549.7
ISBN	4-7693-6080-0
定価	￥１８００
内容注記	各章末：参考文献

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