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ＵＬＳＩプロセスの基礎技術

古川静二郎／編 -- 丸善 -- １９９１．３ -- 549.7

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5497/F1/	1101086872	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1101256214
タイトル	ＵＬＳＩプロセスの基礎技術
タイトルカナ	ユーエルエスアイ　プロセス　ノ　キソ　ギジュツ
著者	古川静二郎／編, 石原健／〔ほか〕共著
著者カナ	フルカワ　セイジロウ
叢書名	Ｍａｒｕｚｅｎ　ａｄｖａｎｃｅｄ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
叢書下位シリーズ	材料工学編
出版地	東京
出版者	丸善
出版年	１９９１．３
ページ数	２６２ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	集積回路
NDC分類(8版)	549.7
ISBN	4-621-03583-5
定価	￥４９４４
内容注記	各章末：文献

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