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薄膜作製ハンドブック

応用物理学会薄膜・表面物理分科会／編 -- 共立出版 -- １９９１．３ -- 549

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5490/O7/	1103142715	一般	貸出可	在庫

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資料詳細

種別	図書
タイトルコード	1101255917
タイトル	薄膜作製ハンドブック
タイトルカナ	ハクマク　サクセイ　ハンドブック
著者	応用物理学会薄膜・表面物理分科会／編
著者カナ	オウヨウ　ブツリ　ガッカイ
出版地	東京
出版者	共立出版
出版年	１９９１．３
ページ数	３８０ｐ
大きさ	２７ｃｍ
一般件名	薄膜
NDC分類(8版)	549
ISBN	4-320-08493-4
定価	￥９２７０
内容注記	各章末：文献

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