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    夏目深雪
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プラズマプロセシングの基礎

ブライアン・Ｎ．チャップマン／著 -- 電気書院 -- １９８５．１１ -- 427.6

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 4276/C1/ 1100559317 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1101194397
タイトル プラズマプロセシングの基礎 
タイトルカナ プラズマ　プロセシング　ノ　キソ
著者 ブライアン・Ｎ．チャップマン ／著, 岡本幸雄 ／訳  
著者カナ チャップマン　ブライアン・Ｎ．
出版地 東京
出版者 電気書院
出版年 １９８５．１１
ページ数 １３，３９１ｐ
大きさ ２２ｃｍ
原タイトル Ｇｌｏｗ　ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ：ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ａｎｄ　ｐｌａｓｍａ　ｅｔｃｈｉｎｇ．
一般件名 プラズマ
NDC分類(8版) 427.6
ISBN 4-485-66118-0 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ５４００円
内容注記 巻末：参考文献

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