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入門＊フォトマスク技術

田邉功／著 -- 工業調査会 -- ２００６．１２ -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般資料 5498/T6/2 1106880782 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1100085830
タイトル 入門＊フォトマスク技術 
タイトルカナ ニュウモン＊フォトマスク　ギジュツ
副書名 ＬＳＩ，ＦＰＤ，ＰＷＢ，ＭＥＭＳのためのフォトマスク
著者 田邉功 ／著, 竹花洋一 ／著, 法元盛久 ／著  
著者カナ タナベ　イサオ
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年 ２００６．１２
ページ数 ３２３ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般件名 半導体
NDC分類(8版) 549.8
ISBN 4-7693-1259-8 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ３８００円

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