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現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ

小島啓安／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２０１５．２ -- 549

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	5490/K45/	1109042521	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1110270412
タイトル	現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ
タイトルカナ	ゲンバ　ノ　スパッタリング　ハクマク　キュー　アンド　エイ
副書名	反応性高速スパッタの実務アドバイス
著者	小島啓安／著
著者カナ	コジマ　ヒロヤス
版表示	第２版
出版地	東京
出版者	日刊工業新聞社
出版年	２０１５．２
ページ数	４３７ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	薄膜
NDC分類(8版)	549
ISBN13桁	978-4-526-07366-3
定価	３３００円
内容紹介	スパッタリングプロセスの第一人者がＱ＆Ａ方式で現場の疑問をわかりやすく解説する実務書の第２版。

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