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マイクロ波プラズマの技術

電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会／編 -- オーム社 -- ２００３．９ -- 427.6

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	4276/D1/2	1106570532	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1108487813
タイトル	マイクロ波プラズマの技術
タイトルカナ	マイクロハ　プラズマ　ノ　ギジュツ
著者	電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会／編
著者カナ	デンキ　ガッカイ　マイクロハ　プラズマ　チョウサ　センモン　イインカイ
出版地	東京
出版者	オーム社
出版年	２００３．９
ページ数	２５７ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	プラズマ , マイクロ波
NDC分類(8版)	427.6
ISBN	4-274-19710-7
定価	４９００円

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