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スパッタ薄膜

小林春洋／著 -- 日刊工業新聞社 -- １９９３．２ -- 549

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 5490/K7/3 1103495360 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1104041638
タイトル スパッタ薄膜 
タイトルカナ スパッタ　ハクマク
副書名 基礎と応用
著者 小林春洋 ／著  
著者カナ コバヤシ　ハルヒロ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 １９９３．２
ページ数 １７２，７ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般件名 薄膜
NDC分類(8版) 549
ISBN 4-526-03273-5 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ２９００

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