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ナノメータスケール加工技術

精密工学会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９３．８ -- 532

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5320/S8/	1103859227	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1104006955
タイトル	ナノメータスケール加工技術
タイトルカナ	ナノメータ　スケール　カコウ　ギジュツ
副書名	超精密加工への化学的効果の応用
著者	精密工学会／編
著者カナ	セイミツ　コウガッカイ
出版地	東京
出版者	日刊工業新聞社
出版年	１９９３．８
ページ数	３２６，６ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	精密加工
NDC分類(8版)	532
ISBN	4-526-03375-8
定価	￥６６０２
内容注記	各章末：参考文献

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