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プラズマプロセシングの基礎
ブライアン・N.チャップマン/著 -- 電気書院 -- 1985.11 -- 427.6
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所蔵
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所蔵場所
請求記号
資料番号
資料区分
帯出区分
状態
書庫
4276/C1/
1100559317
一般
貸出可
在庫
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資料詳細
種別
図書
タイトルコード
1101194397
タイトル
プラズマプロセシングの基礎
タイトルカナ
プラズマ プロセシング ノ キソ
著者
ブライアン・N.チャップマン
/著,
岡本幸雄
/訳
著者カナ
チャップマン ブライアン・N.
出版地
東京
出版者
電気書院
出版年
1985.11
ページ数
13,391p
大きさ
22cm
原タイトル
Glow discharge processes:sputtering and plasma etching.
一般件名
プラズマ
NDC分類(8版)
427.6
ISBN
4-485-66118-0
定価
5400円
内容注記
巻末:参考文献
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