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ブライアン・N.チャップマン/著 -- 電気書院 -- 1985.11 -- 427.6

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 4276/C1/ 1100559317 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1101194397
タイトル プラズマプロセシングの基礎 
タイトルカナ プラズマ プロセシング ノ キソ
著者 ブライアン・N.チャップマン /著, 岡本幸雄 /訳  
著者カナ チャップマン ブライアン・N.
出版地 東京
出版者 電気書院
出版年 1985.11
ページ数 13,391p
大きさ 22cm
原タイトル Glow discharge processes:sputtering and plasma etching.
一般件名 プラズマ
NDC分類(8版) 427.6
ISBN 4-485-66118-0 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks
定価 5400円
内容注記 巻末:参考文献