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スパタリング現象

金原粲／著 -- 東京大学出版会 -- １９８４．３ -- 431.86

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	4318/K4/	1103062319	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1101180593
タイトル	スパタリング現象
タイトルカナ	スパタリング　ゲンショウ
副書名	基礎と薄膜・コーティング技術への応用
著者	金原粲／著
著者カナ	キンバラ　アキラ
出版地	東京
出版者	東京大学出版会
出版年	１９８４．３
ページ数	２３１ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	薄膜
NDC分類(8版)	431.86
ISBN	4-13-061047-3
定価	２８００円
内容注記	各章末：文献

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