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図解でわかる＊半導体製造装置

菊地正典／監修 -- 日本実業出版社 -- ２００７．４ -- 549.8

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	5498/K6/2	1107379867	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1100113026
タイトル	図解でわかる＊半導体製造装置
タイトルカナ	ズカイ　デ　ワカル＊ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ
著者	菊地正典／監修
著者カナ	キクチ　マサノリ
出版地	東京
出版者	日本実業出版社
出版年	２００７．４
ページ数	１８２ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体
NDC分類(8版)	549.8
ISBN13桁	978-4-534-04217-0
定価	１９００円
内容紹介	半導体をつくるための装置である半導体製造装置。本書では、拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてを、現場の一流の技術者がわかりやすく徹底図解で解説する。
著者紹介	１９６８年東京大学工学部卒業後、日本電気（株）入社。半導体デバイス・プロセスの開発と生産に従事。２００５年から（社）日本半導体製造装置協会専務理事。

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