資料詳細

創立２０周年・社団法人化１０周年記念誌

ＳＥＡＪ創立２０周年記念事業推進特別委員会∥編集・制作 -- 日本半導体製造装置協会 -- ２００５．９ -- 549.06

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5490/N26/	1107115915	一般	貸出可	在庫

種別	図書
タイトルコード	1100019215
タイトル	創立２０周年・社団法人化１０周年記念誌
タイトルカナ	ソウリツ　ニジッシュウネン　シャダン　ホウジンカ　ジッシュウネン　キネンシ
副書名	創造の２０年／先端技術への挑戦
著者	ＳＥＡＪ創立２０周年記念事業推進特別委員会∥編集・制作
著者カナ	ニホン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　キョウカイ
出版地	東京 $B
出版者	日本半導体製造装置協会
出版年	２００５．９
ページ数	１３５ｐ
大きさ	３１ｃｍ
一般注記	付属資料：ＣＤ－ＲＯＭ（１２ｃｍ）１枚
一般件名	日本半導体製造装置協会
NDC分類(8版)	549.06