資料詳細

詳細蔵書検索

真空科学ハンドブック

日本真空学会／編 -- コロナ社 -- ２０１８．３ -- 534.93

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	5349/N1/2	1109959468	一般	貸出可	在庫

ページの先頭へ

資料詳細

種別	図書
タイトルコード	1130035576
タイトル	真空科学ハンドブック
タイトルカナ	シンクウ　カガク　ハンドブック
著者	日本真空学会／編
著者カナ	ニホン　シンクウ　ガッカイ
出版地	東京
出版者	コロナ社
出版年	２０１８．３
ページ数	8,578p
大きさ	27cm
一般件名	真空技術
NDC分類(8版)	534.93
NDC分類(10版)	534.93
ISBN13桁	978-4-339-00908-8
定価	¥20000
内容紹介	真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。

ページの先頭へ