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プラズマプロセス技術

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- ２０１７．１ -- 501.4

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	5014/P1/	1109607505	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1110441692
タイトル	プラズマプロセス技術
タイトルカナ	プラズマ　プロセス　ギジュツ
副書名	ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者	プラズマ・核融合学会／編
著者カナ	プラズマ　カク　ユウゴウ　ガッカイ
出版地	東京
出版者	森北出版
出版年	２０１７．１
ページ数	7,273p
大きさ	22cm
一般件名	材料科学 , プラズマ物理学
NDC分類(8版)	501.4
ISBN13桁	978-4-627-77561-9
定価	¥5600
内容紹介	超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。

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