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半導体工場のすべて

菊地正典／著 -- ダイヤモンド社 -- ２０１２．８ -- 549.8

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	5498/K6/3	1108483841	一般	貸出可	在庫

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資料詳細

種別	図書
タイトルコード	1110073625
タイトル	半導体工場のすべて
タイトルカナ	ハンドウタイ　コウジョウ　ノ　スベテ
副書名	設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで
著者	菊地正典／著
著者カナ	キクチ　マサノリ
出版地	東京
出版者	ダイヤモンド社
出版年	２０１２．８
ページ数	２３５ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	半導体
NDC分類(8版)	549.8
ISBN13桁	978-4-478-01728-9
定価	２２００円
内容紹介	日本の半導体産業４０年の英知をまとめた決定版。「工場」の切り口から解説することで、従来の「しくみ」だけでなく、ヒト、モノ、カネ、情報も加えた総合的な形で半導体について理解できる１冊。
著者紹介	１９４４年樺太生まれ。６８年東京大学工学部卒。日本電気（株）入社以来、一貫して半導体関係業務に従事。同社半導体事業グループの統括部長、主席技師長を歴任。（社）日本半導体製造装置協会専務理事を経て、２００７年から（株）半導体エネルギー研究所顧問。

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