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半導体研究振興会/〔編〕 -- 工業調査会 -- 1988.8 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 5498/H11/1-28 1106563032 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1108488351
タイトル 半導体研究  28
タイトルカナ ハンドウタイ ケンキュウ
著者 半導体研究振興会 /〔編〕  
著者カナ ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ
巻の書名 超LSI技術 12 デバイスとプロセス その2
各巻著者 西沢潤一/編
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年 1988.8
ページ数 373p
大きさ 27cm
一般件名 半導体
NDC分類(8版) 549.8
ISBN 4-7693-1068-4 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks
定価 ¥19417
内容注記 各章末:参考文献