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    イワヰマサタカ
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超微細加工の基礎

麻蒔立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００１．９ -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般資料 5498/A5/1-2 1106046624 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1108331503
タイトル 超微細加工の基礎 
タイトルカナ チョウビサイ　カコウ　ノ　キソ
副書名 電子デバイスプロセス技術
著者 麻蒔立男 ／著  
著者カナ アサマキ　タツオ
版表示 第２版
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 ２００１．９
ページ数 ２９５ｐ
大きさ ２１ｃｍ
一般件名 半導体 , 精密加工
NDC分類(8版) 549.8
ISBN 4-526-04812-7 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ３９００円

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