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入門真空・薄膜・スパッタリング

Ｒ．Ｖ．Ｓｔｕａｒｔ／著 -- 技報堂出版 -- １９８５．１０ -- 534.93

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 5349/S2/ 1105350258 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1108065447
タイトル 入門真空・薄膜・スパッタリング 
タイトルカナ ニュウモン　シンクウ　ハクマク　スパッタリング
著者 Ｒ．Ｖ．Ｓｔｕａｒｔ ／著, 毛利衛，数坂昭夫 ／共訳, 数坂昭夫  
著者カナ ＳＴＵＡＲＴ　Ｒ．Ｖ．
出版地 東京
出版者 技報堂出版
出版年 １９８５．１０
ページ数 １４５ｐ
大きさ ２２ｃｍ
原タイトル Ｖａｃｕｕｍ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ，ａｎｄ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ．∥の翻訳
一般件名 真空工学 , 薄膜
NDC分類(8版) 534.93
ISBN 4-7655-0358-5 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks
定価 ￥２０００

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