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所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5349/S2/	1105350258	一般	貸出可	在庫

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資料詳細

種別	図書
タイトルコード	1108065447
タイトル	入門真空・薄膜・スパッタリング
タイトルカナ	ニュウモン　シンクウ　ハクマク　スパッタリング
著者	Ｒ．Ｖ．Ｓｔｕａｒｔ ／著, 毛利衛，数坂昭夫 ／共訳, 数坂昭夫
著者カナ	ＳＴＵＡＲＴ　Ｒ．Ｖ．
出版地	東京
出版者	技報堂出版
出版年	１９８５．１０
ページ数	１４５ｐ
大きさ	２２ｃｍ
原タイトル	Ｖａｃｕｕｍ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍｓ，ａｎｄ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ．∥の翻訳
一般件名	真空工学 , 薄膜
NDC分類(8版)	534.93
ISBN	4-7655-0358-5
定価	￥２０００

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