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ＬＩＧＡプロセス

先端加工機械技術振興協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９８．８ -- 532

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所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
書庫 5320/S9/ 1105271827 一般 貸出可 在庫 iLisvirtual

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種別 図書
タイトルコード 1108044983
タイトル ＬＩＧＡプロセス 
タイトルカナ リガ　プロセス　ＬＩＧＡ　プロセス
副書名 進展する三次元超微細加工技術
著者 先端加工機械技術振興協会 ／編  
著者カナ センタン　カコウ　キカイ　ギジュツ　シンコウ　キョウカイ
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 １９９８．８
ページ数 ２７２，４ｐ
大きさ ２２ｃｍ
一般注記 監修：中島尚正，梅田章
一般件名 精密加工
NDC分類(8版) 532
ISBN 4-526-04223-4 国立国会図書館 KGWAP5502 GoogleBooks WebcatPlus
定価 ￥５６００
内容注記 文献あり　索引あり

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