資料詳細

詳細蔵書検索

半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９１．９ -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5498/N4/	1100277670	一般	貸出禁止	在庫

ページの先頭へ

資料詳細

種別	図書
タイトルコード	1101263165
タイトル	半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ	ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ヨウゴ　ジテン
著者	日本半導体製造装置協会／編
著者カナ	ニホン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　キョウカイ
版表示	第２版
出版地	東京
出版者	日刊工業新聞社
出版年	１９９１．９
ページ数	４１９ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	半導体－辞典
NDC分類(8版)	549.8
ISBN	4-526-02987-4
定価	￥４３００
内容注記	引用文献一覧表：ｐ３３３

ページの先頭へ