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薄膜工学

吉田貞史／編著 -- 丸善出版 -- ２０１１．６ -- 549

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5490/S36/1-2	1108208446	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1100450534
タイトル	薄膜工学
タイトルカナ	ハクマク　コウガク
著者	吉田貞史／編著, 近藤高志／編著, 金原粲／監修
著者カナ	ヨシダ　サダフミ
版表示	第２版
出版地	東京
出版者	丸善出版
出版年	２０１１．６
ページ数	２９５ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	薄膜
NDC分類(8版)	549
ISBN13桁	978-4-621-08414-4
定価	３８００円
内容紹介	基礎的な技術でありながら、関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う薄膜技術。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行った。

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