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分光エリプソメトリー

藤原裕之／著 -- 丸善出版 -- ２０１１．５ -- 425.5

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	4255/F2/1-2	1108165992	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1100440268
タイトル	分光エリプソメトリー
タイトルカナ	ブンコウ　エリプソメトリー
著者	藤原裕之／著
著者カナ	フジワラ　ヒロユキ
版表示	第２版
出版地	東京
出版者	丸善出版
出版年	２０１１．５
ページ数	３６９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	分光学
NDC分類(8版)	425.5
ISBN13桁	978-4-621-08322-2
定価	５８００円
内容紹介	分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、及び具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。広範な分野で利用できる入門書。「光学異方性の測定評価」とその解析例を加えた新版。
著者紹介	１９９１年早稲田大学理工学部卒。９６年東京工業大学大学院博士課程修了、ペンシルバニア州立大学研究員。９８年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。２００１年産業技術総合研究所研究員。０８年岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長。

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