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半導体のための真空技術入門

宇津木勝／著 -- 工業調査会 -- ２００７．２ -- 534.93

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5349/U1/	1106908336	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1100099855
タイトル	半導体のための真空技術入門
タイトルカナ	ハンドウタイ　ノ　タメノ　シンクウ　ギジュツ　ニュウモン
副書名	現場で役立つ基礎と応用
著者	宇津木勝／著
著者カナ	ウツギ　マサル
出版地	東京
出版者	工業調査会
出版年	２００７．２
ページ数	２１９ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	真空技術
NDC分類(8版)	534.93
ISBN13桁	978-4-7693-1262-8
定価	２３００円

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