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絵とき＊「薄膜」基礎のきそ

小林春洋／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００６．１２ -- 549

所蔵

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般資料	5490/K7/4	1106915463	一般	貸出可	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1100089903
タイトル	絵とき＊「薄膜」基礎のきそ
タイトルカナ	エトキ＊ハクマク　キソ　ノ　キソ
著者	小林春洋／著
著者カナ	コバヤシ　ハルヒロ
叢書名	Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ｓｅｒｉｅｓ
出版地	東京
出版者	日刊工業新聞社
出版年	２００６．１２
ページ数	１６８ｐ
大きさ	２１ｃｍ
一般件名	薄膜
NDC分類(8版)	549
ISBN	4-526-05791-6
定価	２１００円
内容紹介	薄膜が作られる原理や、薄膜を作るにはどのような方法があり、それぞれどのような特徴があるのか、またできた膜をどのように評価するのかなど、薄膜作成のひととおりを絵解きでわかりやすく解説した入門書。
著者紹介	大正１４年福島県生まれ。昭和２４年東北大学電気工学科卒。３１年東北大学工学部助教授、日本電気（株）入社電子装置（事）開発部長。４８年日電アネルバ（株）入社常務取締役。６０年（株）トーキン、特別顧問。６３年同退職。現在、コンサルタント。

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