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日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２００６．９ -- 549.8

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９１．９ -- 549.8

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- １９９７．１１ -- 549.8

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２０００．１１ -- 549.8

コンパクト版半導体用語辞典編集委員会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２００２．１１ -- 549.8