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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２０００．１１ -- 549.8

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所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
書庫	5498/N4/1-5	1105829558	一般	貸出禁止	在庫

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種別	図書
タイトルコード	1108270026
タイトル	半導体製造装置用語辞典
タイトルカナ	ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　ヨウゴ　ジテン
著者	日本半導体製造装置協会／編
著者カナ	ニホン　ハンドウタイ　セイゾウ　ソウチ　キョウカイ
版表示	第５版
出版地	東京
出版者	日刊工業新聞社
出版年	２０００．１１
ページ数	５８８ｐ
大きさ	２２ｃｍ
一般件名	半導体－辞典
NDC分類(8版)	549.8
ISBN	4-526-04666-3
定価	４７００円

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